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光学仪器 |
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日本电子推出提高易用性与扩展性的扫描电子显微镜 |
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| http://cn.newmaker.com
2/14/2007 1:39:00 PM
日经BP社
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 日本电子推出了易用性与扩展性更强的场致发射扫描电子显微镜“JSM-7001F”。以15kV加速电压下能够得到200nA以上的探测电流（在探针中流动的电流）。因此能够对微小区域快速分析，便于完成元素分析和结晶方位分析。售价7000万日元。
“JSM-7001F”对每幅图像的拍摄条件与试料位置等信息采用一元化管理方式，能够简单地再现数据。同时还配备了最多可同时观察和收集4幅图像的功能。这样就能在对二次电子图像、TOPO图像（强调凹凸效果的图像）和COMPO图像（合成图像）3种图像同时进行观察，与样品比较确定最佳条件，一次性取得所有的图像。
放大倍率为10～100万倍，最大可放置直径200mm的试料。因为能够将二次电子检测器、反射电子检测器、能量分散型X线光谱仪、波长分散型X线光谱仪、结晶方位分析检测器、阴极射线发光检测器放置到最佳位置，所以便于根据分析的目的进行功能扩展。
显微镜的分辨率方面，在加速电压和动作距离（WD）分别为30kV和4mm的条件下为1.2nm，在1kV和4mm下为3.0nm，在电流量为5nA、加速电路为15kV、WD为10mm时为3.0nm。
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