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斯坦利电气开发出超小型投影机用镜片元件 |
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| http://cn.newmaker.com
1/26/2007 11:53:00 AM
佳工机电网
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斯坦利电气利用全新结构的致动器开发出了可供超小型投影机使用的镜片元件，并在“MEMS2007”国际会议进行了技术发表（演讲序号为M35）。超小型投影机的目标用途是手机，利用微镜片扫描彩色激光，将图像投影到了墙壁等表面上。
该公司此次利用压电元件开发出了在垂直和水平双轴方向扫描激光的微镜片致动器。通过采用新开发的特殊结构，即使可得到较大的驱动力，也能产生变异较小的大压电驱动位移。
一般来讲，基于单芯片的双轴扫描，与垂直方向相比，水平方向的驱动频率要大得多，因此很难利用共振频率驱动双轴。因此该公司决定利用非共振频率进行垂直方向的驱动。采用非共振驱动时，需要较大的驱动力，因此该公司采用了基于PZT的压电驱动方式。不过，这种驱动方式存在无法产生大位移的缺点，此次通过采用新结构决定了这一问题。
所采用的新结构就是将致动器设计成蛇行形状（参见图）。这种结构有多个驱动部分，各驱动部分的位移积累起来以后，整体上就能得到大位移。
为了实现压电驱动，需要有能够均匀形成结晶的PZT膜工艺，而该公司早已开发出了这项技术，名为“ADRIP（arc discharged reactive ion plating）”。在500℃的非超高温度条件下能够以3μm/小时的速度进行成膜。
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