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上海光机所两激光项目通过验收 |
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| http://cn.newmaker.com
1/16/2007 10:56:00 AM
佳工机电网
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近日，上海市科学技术委员会组织专家分别对中科院上海光机所楼祺洪研究员负责的“新型高功率粗芯双包层光纤激光器研究”项目和刘建胜研究员负责的“极紫外光刻机光源技术的研究”进行了验收。
“新型高功率粗芯双包层光纤激光器研究”项目采用双端泵浦的国产粗芯双包层光纤，通过模式控制技术，获得了高功率、高光束质量的激光输出。激光输出参数为：激光功率301W、中心波长1.08um、光束质量因子M2为1.38。全面完成了任务指标，并在光线激光材料焊接方面进行了实验，取得了一定的效果。
“极紫外光刻机光源技术的研究”项目建立了一套利用高功率YAG激光器辐照固体锡靶以及氙(Xe)团簇靶产生高转换效率极紫外光源的实验研究平台。分别开展了两种靶条件下产生高转换效率极紫外光源的实验研究。在气体靶条件下获得了极紫外光源0.75%的转换效率，在固体靶条件下获得了极紫外光源高于2%的转换效率。极紫外光刻(EUVL)是一种新型的光刻技术，它是以波长为13.5nm的软X射线为曝光光源的微电子光刻技术，并最终是生产更细线宽(最小为30nm)集成电路的主流技术。该项目是开展极紫外光刻机光源技术的研究，属于极紫外光刻机最前端的光源研究，在极紫外光源转换效率方面达到了国际先进水平。该项目的完成将有助于我国开展极紫外光刻机各种单元技术的研究，使我国在EUVL方面具备相当的国际竞争力。
验收委员会认为该两个项目完成了计划任务书规定的研究成果和考核指标，一致同意通过验收。
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