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SMI用150mm晶圆的生产线量产压力传感器 |
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| http://cn.newmaker.com
12/22/2006 11:17:00 AM
佳工机电网
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硅压力传感器设计和制造商美国Silicon Microstructures（SMI）宣布，该公司最近导入的150mm晶圆MEMS生产线达到了日产量超过4万的生产水平。该150mm晶圆生产线的升级以及能力的提高是在未影响生产的情况下完成的。
为了不仅可支持更大的晶圆，而且还要进一步提高性能及可靠性，该生产线配备了能更准确、更清洁地进行匣盒处理（Cassette Handling）、刻蚀及蒸镀的新装置。
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