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支持第8代基板的液晶彩色滤色片直接描画设备和涂布设备 |
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| http://cn.newmaker.com
11/15/2006 1:45:00 PM
佳工机电网
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 大日本网屏开发出了支持第8代玻璃基板（底板尺寸：2160mm×2460mm）的液晶用彩色滤色片生产设备，将于2007年4月上市。此次投产的是滤色片曝光工程中使用的直接描画设备“DF-2200G”以及滤色片材料涂布设备“LF-2200G”。
每台每年可节约掩膜成本5亿日元
直接描画设备“DF-2200G”配备有“可变光栅投影方式”。除了任意光栅斑图之外，光栅设备中还预置了数十种图案，不需更换掩膜就可在玻璃底板上曝光多种图案和线条。从而大幅降低了为每个图案单独制作大型掩膜的成本，以及替换与维护等运行成本，解决了这些掩膜曝光以往的课题。这样，支持第8代的曝光设备每台每年可节约掩膜成本5亿日元。
此外，因为可在短时间内切换多种曝光图案，还能够缩短试制等开发过程所需的时间。DF-2200G的尺寸为8.5m×4.4m×3.6m（不包括激光设备），价格为10亿日元（随规格变动）。
采用为TFT开发的刮刀式涂布方式
涂布设备“LF-2200G”采用了已在TFT制造工程中得到应用的刮刀式涂布系统“Linear coater”。能灵活应对滤色片材料特有的多种涂布条件，实现高精度的涂布性能。LF-2200G的尺寸为16m×5m×4.5m，价格为5亿日元（不同规格有变动）。
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