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爱发科上市汽车部件叶片式溅镀装置 |
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| http://cn.newmaker.com
9/12/2006 9:26:00 AM
佳工机电网
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 爱发科（ULVAC）将于2006年10月上市前后工序可连续处理的真空溅镀装置“SPV-1000N”。主要在生产前照灯及后组合灯使用的反射镜、仪表壳及车门把手等汽车部零件时使用。可以处理原来需要利用其它装置进行处理的前工序（底层涂装），减少了生产线的设置空间。价格约为1亿5000万日元。该公司预计订单量2006年为5台、2007年为10台。
该装置主要用于为树脂成形产品等增加光反射功能。具体来说，首先通过离子聚合在树脂成形产品上形成厚5～20nm的氧化硅（SiOx）底膜（底层涂装），然后在底膜上溅镀厚100～300nm的铝（或铬）反射膜，最后再通过离子聚合覆盖厚20～100nm的氧化硅保护膜（表层涂装）。新型溅镀装置可对这3道工序进行连续处理。
虽然该公司的已经有某些产品可对溅镀和表层涂装进行连续处理，不过对表层涂装也可连续处理却是首次。原来为了对表层涂装和溅镀进行连续处理，一直采取在确保真空环境的情况下连接两台装置的做法。虽然此前也有涂装树脂成形品、待表面干燥后再进行溅镀，以替代底层涂装的方法，不过这种方法在涂装工序的成品率方面却存在较大瓶颈。另外，由于干燥工序采用的是成批处理，所以还存在需要为半成品准备放置场所的问题。
而新型溅镀装置则采用半成品的出入口、底层涂装舱、溅镀舱及表层涂装舱围在芯腔四面的构造。中央配备有带伸缩臂的旋转机构，可将半成品夹在各伸缩臂前端的夹具上。当夹具夹着半成品进入各舱后，各舱就会被封闭。
溅镀工序采用根据对象材料的大小一直摇动阴极磁铁的方法。这一方法不仅能够延长对象材料的寿命，而且还可提高对象材料的使用效率。
该公司将在“VACUUM 2006-真空展”（2006年9月13～15日，东京有明国际展览中心）上展出该新型溅镀装置。
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