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爱发科等开始提供真空装置耐蚀处理业务

http://cn.newmaker.com 8/25/2006 9:27:00 AM 佳工机电网

日经BP社2006年8月24日报道日本爱发科（Ulvac）与三爱成套设备工业（San Ai Plant），日前联合开发出比以前方法降低了气体排放量的铝（Al）合金耐蚀处理法“Super ALpika”。将从2006年9月1日开始接受处理业务订单。该业务主要面向用于制造半导体以及液晶面板的CVD装置以及蚀刻装置等的真空设备。比起以前的方法，新方法可将从室温升至300℃左右时产生的水蒸气等的气体量降低到1/100～1/1000。由于气体排放量减少，因此可以降低真空装置排气时带给泵的负担以及排气所耗的时间。

此次开发出的耐蚀处理法是称为阻隔式阳极氧化处理方式的一种，可在铝合金上形成铝氧化保护膜。由于处理液中使用的是有机酸盐，因此比起使用酸性溶液的多孔式阳极氧化处理（铝氧化膜处理），表面缺陷较少。铝氧化膜处理法用于水壶以及铝制窗框等。另外，新的耐蚀处理法改善了氧化保护膜形成之前的处理工序，降低了普通阻隔式阳极氧化处理时产生的空隙等缺陷，这些都降低了气体排放量。

此外，新方法将氧化保护膜厚度减至200～400nm，减轻了因铝合金与氧化保护膜之间的热膨胀系数差别而产生的应力，由此使真空装置内升至高温时出现的氧化保护膜龟裂现象减少了。即使在约450℃时，保护膜也不龟裂。而以前的多孔式阳极氧化处理由于氧化保护膜的厚度厚达数十μm，因此约150℃时氧化保护膜上就会产生龟裂。

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