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日本繁荣发展的MEMS（微机电系统）

http://cn.newmaker.com 7/28/2006 12:25:00 PM 《日经微器件》

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展厅 11	传感器展厅差压变送器, 压力变送器, 压力传感器, 压力开关, 张力传感器, ...

《日经微器件》杂志7月6日～7日在东京品川主办的“MEMS解决方案2006”在盛况中闭幕了。此次活动约有300人参加，论坛上甚至有站着的听众，而在同期举办的展示活动中交流同样非常踊跃。参加者异口同声地表示：“MEMS，其发展竟这般繁荣！”

对于MEMS，尤其是日本大厂商直至最近仍普遍持怀疑态度：“真能形成大产业吗？”最近一段时期以来，MEMS元件的量产化已经在全球起步，逐渐出现了消除上述怀疑观点的动向。新一代家用游戏机游戏柄所配备的加速度传感器就是MEMS元件的一种，比如在网球游戏中就提出了一种新的玩法：在显示屏前面像挥动球拍一样挥动游戏柄进行击球。除此之外，采用MEMS技术的硅振荡器欲借小型化以及与其他硅元件的集成化之特点，取代传统的石英振荡器。

MEMS有望成为下一个产业的理由大体有3个：（1）MEMS加工尺寸为数μm～十几μm，是现有半导体（数十nm～数百nm）和印刷电路板（数十μm～数百μm）未能覆盖到的空白区，将会产生新的元件功能和加工技术；（2）应用领域非常广泛，除信息通信和家电外，还包括汽车、医疗生物和农业等；（3）并非只有具备能够进行大规模投资的资金实力的企业才能取得成功，只要能够利用技术和观念开拓新市场，中小企业同样能够成功。因此，可以说日本企业完全有机会参与并取得成功。

日本政府方面的相关举措也非常活跃。经济产业省已经将MEMS定位于强化日本产业竞争力的重要技术，并且已经开始制定各种政策。地方政府，比如仙台市正在积极完善MEMS技术的产业化环境。其核心的“MEMS PARK Consortium”前不久以荣获紫授褒章的日本东北大学教授江刺正喜为代表，从全日本征集了112家（截至6月底）会员企业。最近，与在技术转让方面取得了丰硕成果的瑞士政府机构CSEM合作，现已开始活动，为寻找产业化业务合作伙伴提供帮助。

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