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英开发出二氧化硅室温制造新技术 |
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| http://cn.newmaker.com
7/4/2006 10:46:00 AM
佳工机电网
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英国伦敦大学学院的研究人员近日开发出一种利用低温紫外灯制造二氧化硅的新技术，不仅可以降低计算机芯片的制造成本，而且可以降低电子工业的能耗，为生产绿色环保芯片打开了一扇大门。
二氧化硅是计算机芯片的重要组成部分，但它在室温的条件下形成极为缓慢。为了加速二氧化硅的形成过程，通常需要加热到900至1200℃，这种加工过程消耗了大量的能源。
新开发的二氧化硅生产技术，利用一个与普通荧光灯管相类似的，长约30厘米充满高压氩气的灯管，发射出126纳米波长的紫外光。氧分子可在这种紫外光照射下发生断裂，形成大量高能氧原子，进而在室温的条件下对硅进行氧化。
伦敦大学学院负责该项研究开发的伊恩·伯依德教授认为，这种新技术可以大大降低电子工业的能耗，进而降低电子产品的生产成本，将对保护环境产生积极的作用。
剑桥大学半导体物理学研究小组的道格拉斯·保罗表示，由于制造芯片的纯度要求很高，过去曾有一些研究人员取得过类似结果，但实践证明，由于采用这些技术生产的产品缺陷密度过高，以致无法获得实际应用。
伯依德教授认为，在其它紫外波长的长期照射下，确实容易造成产品缺陷密度高。但他强调，新技术所采用的波长是此前的研究从未使用过的。下一步他将在类似生产芯片的环境下，开展实验，以验证新技术的工业价值。他相信这一新技术不仅可应用于生产芯片，还可以应用于智能衣料、智能纸、电子图书及塑料电子产品，并且为改变生产流程打开了一扇大门。
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