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新一代TFT半导体候选材料陆续发表

http://cn.newmaker.com 6/9/2006 9:48:00 AM 日经BP社

新一代TFT半导体材料的候选者是以ZnO为主的氧化物，还是以并五苯为主的有机半导体？“SID 2006”研讨会第4场发表的ZnO类TFT技术颇具参考意义，而笔者此次要介绍的则是第10场发表的5篇有关“Organic TFTs”技术的论文。

韩国庆熙大学的Jin Jang介绍了并五苯TFT稳定性改善技术的进展情况（特邀演讲）。结合最新数据，从“化学稳定性”、“电气稳定性”及“热稳定性”方面介绍了老化方式。最大的进步就是保护膜的优化。据悉通过采用聚对位二甲苯，可实现推测寿命达5万小时的稳定性。

韩国LG电子技术研究院（LG Electronics Institute of Technology）的Yong Woo Choi开发出了并五苯TFT的驱动电压降低技术。通过在栅绝缘层中采用了相对介电常数为50的BiZnNbO（BZN），将驱动电压由过去的-30V降到了-10V。此人领导的研究小组使用这种TFT试制出了分辨率为12×12像素的有源矩阵型有机EL面板。

韩国三星SDI发表了使用下接点型并五苯TFT、分辨率为64×192像素的4英寸有源矩阵型有机EL面板技术。TFT矩阵底板的最高形成温度为150℃。

NHK放送技术研究所则发表了分别在有机半导体中使用并五苯，在栅绝缘层中使用TaO（阳极氧化膜），以及在液晶材料中使用含有聚合物的铁电性液晶的高速响应柔性液晶面板技术。p型TFT的迁移率为0.3cm/Vs，响应时间不足1ms。运用这种高速响应技术，开发出了基于驱动频率360Hz场序式彩色显示器。背照灯则使用了红（R）、绿（G）和蓝（B）色LED。

索尼则发表了完全利用有机材料制作的分辨率为160×120像素的2.5英寸TFT-LCD技术。TFT材料采用的是并五苯，栅绝缘层则采用了最新开发的PVP-OTS材料。对于这种栅绝缘材料，关键是混入了OTS。电极布线材料使用的是最近受到业界广泛关注的有机银（organo-silver），使用聚对位二甲苯作为保护膜。液晶材料使用了聚合物分散型液晶。虽然现在还谈不上画质问题，但可以说是一项前途景可观的技术之一。

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