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导轨/丝杠 |
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NSK开发出清洁环境下高速直动驱动器 |
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| http://cn.newmaker.com
6/5/2006 11:03:00 AM
佳工机电网
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日本精工（以下简称NSK）开发出了用于半导体制造工艺中，在清洁环境下使用的高速直动驱动器，并已开始销售。
对于半导体、HDD、液晶等的制造，必须是要在没有灰尘、污垢的环境下进行。此产品采用了新的吸气结构，因此成功实现了高速驱动，并实现了商品化。
产品的特长：
1、实现了清洁环境下BS致动器的最高速驱动
在微粒直径为0.3um以上的灰尘在1ft3的空气中含量为30个以下的“10级”环境下，实现了1200mm/秒的速度驱动。
2、实现了简洁化和高负荷容量
通过在支持驱动部位的线性导轨的构造优化，结构比以前产品小15%，但负荷容量增长了50%。
这款清洁环境下高速直动驱动器将在2006年8月投放市场，NSK计划2007年实现4亿日元的销售额。
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