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专业半导体设备将摆脱进口
http://cn.newmaker.com 5/18/2006 10:23:00 AM  佳工机电网
菲洛泰克(ferrotec)上海汉虹精密机械有限公司今天竣工并正式投产。该公司在多个领域填补了我国精工制作的空白,达到国际先进水平。

据了解,此前我国专业半导体设备主要依赖进口,汉虹精机的投产可填补国内空白。自去年开始,汉虹精机的6英寸单晶炉由半自动实现了全自动,今年将生产8英寸单晶炉,后年将有望生产12英寸单晶炉。在拥有知识产权的全自动8英寸单晶炉的基础上,还通过自主创新开展后续研发,目前正在进行EFG法晶体生长炉的调研。

本报讯(杨群)菲洛泰克(ferrotec)上海汉虹精密机械有限公司今天竣工并正式投产。该公司在多个领域填补了我国精工制作的空白,达到国际先进水平。

据了解,此前我国专业半导体设备主要依赖进口,汉虹精机的投产可填补国内空白。自去年开始,汉虹精机的6英寸单晶炉由半自动实现了全自动,今年将生产8英寸单晶炉,后年将有望生产12英寸单晶炉。在拥有知识产权的全自动8英寸单晶炉的基础上,还通过自主创新开展后续研发,目前正在进行EFG法晶体生长炉的调研。

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