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光学仪器 |
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佳能推出非接触三维表面形状测量装置 |
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| http://cn.newmaker.com
4/3/2006 10:24:00 AM
佳工机电网
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佳能营销公司不久前开始销售可适用于多种材料的非接触三维表面形状测量装置“Zygo New View 6300”。通过采用专用软件，测量此前无法评测的透明薄膜材料的表面形状和膜厚分布，测量范围为1～50m。
该软件以美国Zygo公司开发的测量方法“扫描型白色干涉法”为基础，在提高照明光学系统的高亮度LED的对比度的同时，提高了高速数码相机的光学系统的性能。可应用于MEMS和光磁盘等底板技术的研究开发，以及以液晶显示器等关联元器件材料的研究开发。
作为测量方法，扫描型白色干涉法不采用干涉强度在被测物最大位置时的光量，而是通过对白色光干涉波纹进行快速傅立叶变换（FFT）后得到的每个空间频率所对应的相位数据来测量高度的。具有高分辨率、低噪音的特点。尤其是分辨率方面，垂直分辨率甚至可以提高到0.1nm，完全可以测量材料的超精密加工表面。
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