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Aerotech XYZ压电定位台可实现优异的3D定位精度
http://cn.newmaker.com 5/7/2017 5:07:00 PM  佳工机电网

Aerotech XYZ压电定位台可实现优异的3D定位精度

行程范围达120μm×120μm×12μm

40 x 40mm方形通光孔径

正在申请专利的并行运动学设计可提供无与伦比的几何性能

可直接测量的电容式传感器拥有优异的定位分辨率和线性度

艾罗德克运动控制技术有限公司(Aerotech)QNP3系列XYZ压电定位台是一款结合了亚纳米级分辨率、高动态特性和出色的几何性能的紧凑型三自由度(DoF)定位系统。它们拥有40mmx 40mm的透明孔径,闭环行程可达100μmx 100μmx 10μm(开环行程为120μmx 120μmx 12μm )。该设计是光学和扫描探针显微镜或其他检测或制造应用的理想选择,其中双面部件需使用三自由度进行操作。

精密平行运动学设计

QNP3压电定位台使用优化的FEA精密平行运动学挠曲和计量设计,以确保优异的多轴精度,以及高刚度和较长的设备使用寿命。高刚度和谐振频率还可带来更高的加工能力和更快的闭环响应时间。

正在申请专利的这款驱动设计可以最大限度地减少X和Y轴的偏航误差,同时拥有符合阿贝原理的计量系统。这一设计在整个XY轴行程空间中产生了优异的定位性能。其Z轴致动器和电容传感器专为垂直方向提供几何误差最小,以及符合阿贝原理的反馈而设计。

亚纳米级性能

QNP3定位台拥有闭环或开环反馈。独特的电容传感器与计量并联的设计可直接测量定位托架的输出,同时拥有亚纳米级分辨率,线性误差优于0.01%,还具有个位数的纳米重复性。

超精密控制

当与Aerotech公司Q系列控制器和驱动器结合时,QNP3定位台展示了其亚纳米级定位分辨率和内部定位稳定(抖动)的特性,同时保持较高的定位带宽。它还拥有高级软件选项,如动态控制工具箱和运动设计器,可提供各种高效且易于使用的工具,包括迭代学习控制,谐波消除和命令成形功能,从而提供更佳的错误跟踪功能和更快的步骤和定位时间。还可使用OEM驱动器选项。

设计选项

可选的安装板可直接安装到英制或公制线路板光学平台上,还可提供实体平台。QNP3压电定位台还可根据要求定制材料和真空制版。

欲了解更多信息,可通过以下网址获取QNP3系列数据表:https://www.aerotech.com/product-catalog/piezo-nanopositioners/qnp3-100-xyaz.aspx

关于Aerotech - 致力于运动科学

从1970年起,Aerotech(艾罗德克)就为世界各地的工业、政府、科学及研究机构的用户设计并制造最高性能的运动控制、定位台/平台和定位系统。Aerotech的精密运动控制产品可为现今诸多要求苛刻的市场提供关键性能,如医疗设备和生命科学,半导体和平板显示,光子学、汽车、数据存储、激光加工、军事/航空航天、电子制造、测试、装配、研发及其他需要高精度、高生产力运动解决方案的市场。

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