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尼康的1pm高分辨率光干涉显微镜BW-M7000 测量表面精度可达0.1nm级别

http://cn.newmaker.com 7/2/2016 12:57:00 PM 日经BP社

尼康旗下的NIKON INSTECH公司（总部：东京）将推出高度分辨率达到1pm的光干涉显微镜系统“BW-M7000”（图1）。该系统可高速高精度测定高度范围从亚纳米级到毫米级的表面性状（材料表面图案及粗糙度、表面上的微小落差等）。

表面性状测定采用尼康自主开发的方式——“FVWLI（Focus Variation with White Light Interferometry）法”。该方法可使对象材料的表面生成干涉纹，高精度决定各像素的焦点位置。通过使用这种方式，可在2.5倍（视野4.4×4.4mm）至100倍（视野111.0×110.0μm）的所有倍率下实现三维算数平均高度（Sa）为0.1nm级别的表面性状评估。能够以单一模式测定超平滑表面到粗糙表面，无需更换光学滤光片等部件。另外，在测定膜厚时使用光谱干涉法。能以不到0.1秒的时间测定厚度为1nm～40μm的透明薄膜的厚度。

可通过程序控制手段实现全自动测定，能够自动实施对焦、调整样品的倾斜、判断是否合格等操作。可自动测定多个视野，除了材料研发一线之外，还可轻松用于品质管理及品质保证现场。

该显微镜配备最大行程为300×300mm的电动XY轴载物台，以及最大行程为200mm的电动Z轴变焦载物台。可测定半导体、LED、薄膜材料、高分子材料、精密机械加工部件等多种样品（图2、图3）。在测定钻头尖端的表面形状时，可用夹具保持其直立固定状态。

图2：SiC晶圆（Sa为0.1nm）的测定示例

图3：探针痕迹（深度0.8μm）的测定示例

机身外形尺寸为宽900mm×纵深830mm×高1700mm，重量约为317kg。价格为4500万日元起（不含税）。NIKON INSTECH在“第27届设计暨制造解决方案展”（2016年6月22～24日于东京有明国际会展中心举行）上，展出了此次的新系统。（记者：松田千穗）

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