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准LIGA技术及其应用研究取得突破 |
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| http://cn.newmaker.com
12/7/2005 12:52:00 PM
佳工机电网
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日前，由上海交通大学承担的“准LIGA技术及其应用研究”课题取得突破。该课题组开发出了三种多层复杂三维微结构的准LIGA技术新工艺，获得了含有三层微结构、总厚度大于1.4 mm的异型纺丝喷嘴。通过对该三种工艺的优缺点进行比较，得出了三种工艺的应用范围。应用准LIGA技术多层复杂三维微结构加工工艺制备出了异型纺丝喷嘴、镍双层微齿轮模具和集成探卡；应用准LIGA技术可动微结构一体化加工工艺制备出了菲涅尔透镜和光衰减器，应用于光学平台中。
准LIGA技术采用厚胶紫外光刻、模具电铸和微复制工艺制备高深宽比金属和塑料微结构，具有成本低、批量大和重复性好等优点，国内外多家研究机构在此技术上都投入了大量精力。该课题组已申请国家发明专利2项，发表或被录用论文6篇，并用准LIGA技术为国内多家单位进行了MEMS器件的研发。MEMS惯性开关是一种具有重要应用前景的微执行器，课题组对MEMS惯性开关及其相关器件进行了设计、加工和性能测试，用有限元分析软件对MEMS惯性开关中的微弹簧的形状和几何参数进行了优化，开发出用于微弹簧力学性能测试的装置，研制出了MEMS惯性开关原理样机。
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