Manz新一代生产工艺采用VCS 1200电浆辅助化学气相沉积(PECVD)垂直式真空镀膜系统,在电池背面沉积氧化铝钝化层,结合Manz LAS 2400激光开孔技术,可帮助电池生产企业在实现高效晶硅太阳能电池规模化生产的同时,将成本降至最低。与市场同类系统相比,Manz易于维护的全自动化设备体积更小、效率更高,适用于单晶硅和多晶硅太阳能电池生产。Manz可为客户提供必要的生产设备和工艺技术,帮助其升级标准电池生产线,生产更高效的PERC电池。
与VCS 1200系统一起推出的还有Manz LAS 2400激光开孔系统。该系统可用于背面钝化层的局部电极开孔,是一款操作简单、高精度、高产出的解决方案。Manz激光开孔技术为一站式工艺,不仅在这一电池生产流程保证了最低拥有成本,还实现了硅片的安全处理,将破片率降至业界最低。LAS 2400系统采用模块化、小体积设计,非常适宜现有生产线的升级。该系统每小时总产量为2,400个硅片,开孔宽度为30~100μm。Manz晶硅太阳能电池生产解决方案结合了VCS1200及LAS2400的所有优势,能将PERC太阳能电池的效率提升至20.5%。
此外,Manz还提供了业界领先的湿化学处理工具IPSG CEI 4800,可与VCS 1200和LAS 2400生产工具配备形成一套完善的技术解决方案。IPSG CEI 4800主要用于去除硅片背面及边缘的重掺杂层,从而形成化学除边(CEI)。并在接下来的流程中,去除在之前扩散过程中残留在硅片正面的磷硅玻璃(PSG)层。由于应用了柔软的海绵辊和最小化基板压力的概念,IPSG CEI 4800可实现最低破片率。