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国机集团全自动龙门式12英吋砂轮划片机通过鉴定
http://cn.newmaker.com 6/7/2013 1:25:00 PM  佳工机电网
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磨具磨料展厅
研磨机, 抛光机, 砂轮, CBN砂轮, 金刚石砂轮, ...
中国机械工业集团公司(简称国机集团)所属沈阳仪表院2013年5月31日发布消息称,公司 “12英寸IC专用芯片划片工艺装备研制”通过了沈阳市科技局科技成果鉴定。 项目研制出了国内首台全自动、龙门式12英吋砂轮划片机。最高累积步进精度可达2μm/310mm,主轴最高转速41000r/min。申请国家发明专利3项以上,实用新型专利4项以上,取得了一批具有自主知识产权的研究成果,填补了国内空白,整体技术水平达到国际先进水平,形成了相应技术规范和标准。项目的研发成功为提升我国IC(集成电路)装备的技术水平档次、提高国内外市场的竞争力和市场占有率,满足我国IC装备需求将起到重要的推进作用。

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