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国防科大极大规模集成电路超精抛光装备通过国家重大科技专项验收 |
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| http://cn.newmaker.com
1/28/2013 9:28:00 AM
中国机械与金属
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1纳米是一根头发丝的8万分之一，而小于1纳米则被称为亚纳米——这是国防科大精密工程创新团队在超精密光学零件加工中创造的“中国精度”，有力支撑了“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”等3个国家重大科技专项创新突破，3年来为国家创造直接经济效益2亿多元。近日，该校研制两种超精抛光装备通过国家重大科技专项验收。
超精密加工是以高精度为目标的先进制造技术，纳米精度被誉为超精密加工技术皇冠上的明珠，西方发达国家将其视为战略资源，严格限制出口。面对中国光学零件制造水平的窘境，国防科大精密工程创新团队在李圣怡教授率领下，跳过一、二代光学零件制造加工技术，直接瞄准基于可控柔体制造的第三代光学加工方法开展攻关，在国内首次研制出拥有自主知识产权的磁流变、离子束两种超精抛光装备，创造了中国光学零件加工亚纳米的“中国精度”奇迹，使中国光学自动化加工技术及工艺一跃进入世界先进水平，成为继美、德之后第三个掌握高精度光学零件制造加工技术的国家，也是目前世界上唯一同时具有磁流变和离子束抛光装备研发能力的国家。
近3年来，该团队与中科院、中国航天科技集团、中国航空工业集团等合作，推动中国空间光学、高端装备制造发展，自主研制出两大类7个型号的磁流变和离子束抛光机床，为“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”“高分辨率对地观测系统”等3个国家重大科技专项提供技术保障和装备支撑，解决了一系列制约其创新发展的技术难题。团队先后获得科技部重大科技专项颁发的“突出贡献奖”和“突出成果奖”。
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