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日本电波工业开发出石英传感器，可检测±50kGal的加速度 |
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| http://cn.newmaker.com
12/7/2012 11:57:00 AM
日经BP社
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日本电波工业开发出了传感器元件使用石英晶体的传感器模块，可通过频率检测重力、加速度、倾斜及位移等物理量的微小变化。加速度的最大检测范围是±50kGal，最小精度为1mGal。与原来的MEMS传感器相比，加速度检测范围和精度都提高了一个数量级，能在广泛的动态范围内检测加速度。适用于地震测量、资源勘探、构造物震动测量、倾斜仪、土木调查、机械和车辆的平衡调整/速度检测、人工触觉、磁场检测及自动型无人机械等。
该模块在安装了温度补偿用恒温槽之后的尺寸最大为W100mm×D100mm×H75mm。重550g。该模块构造简单，能够直接无线传输检测数据，而且不需要将电压转换成频率的装置，因此，不论单个模块的成本还是装入测量、勘探系统后的总体成本都得以降低。对于设置和拆除工作，还有利于减轻负担和缩短时间。
与其他传感器材料相比，石英晶体具有弹性好（是硅的约1600倍）、耐撞击性好及检测范围广等特点。但是，石英晶体的机电耦合系数比其他材料小，因此，如果用于传感器，元件方面需要高稳定的微细加工制造技术，检测信号方面需要频率稳定技术等。日本电波工业此次在开发时，进一步改进了该公司作为石英晶体器件综合厂商培育起来的这些技术。
为检测微小变化，技术人员将此次的传感器元件做成了悬臂梁形状，采用了先把设在自由端的电极与相对电极间的距离变化转换成静电容量变化再转换成频率的构造。材料采用的是最高级的人造石英晶体，采用了温度变化引起频率变化最小的AT切割型石英晶体振荡器。样品价格方面，带温度补偿的模块的参考价格为每个15万日元。（记者：赤坂 麻实，Tech-On！）
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