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日本滨松光子开发出利用重氢灯真空紫外线的静电消除器 |
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| http://cn.newmaker.com
12/4/2012 9:06:00 AM
日经BP社
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滨松光子开发出了内置有附带MgF2（氟化镁）窗口的重氢灯的静电消除器“L12542”。可用于半导体制造工序中，从承载硅晶圆的静电卡盘上将晶圆分离的用途。操作时利用重氢灯产生的真空紫外线的光电离作用，在真空腔内减压环境下直接对微量残留分子做离子化处理，由此去除静电。
使用此次的新产品时，可防止高速除电导致的晶圆损伤，能够提高晶圆分离工序的成品率和处理量。而且该产品还可在惰性气体环境下去除静电。另外，还可用于真空腔内的晶圆、液晶面板及有机EL面板用玻璃基板以及薄膜等的生产工序中，防止会导致产品缺陷的灰尘附着问题。
内置的重氢灯的寿命长达2000小时，通过专用灯罩来冷却。可直接安装在真空腔内。另外，由于离子生成均衡，没有残余电位，因此不会发生逆带电。而且也不会产生灰尘及电磁噪声，因此，滨松光子宣称该产品可“清洁除电”。
分析领域使用较多的重氢灯采用点光源且高亮度专用的电极构造，不适于大面积照射。此次滨松光子面向广角照射用途对电极的开口构造和配置位置进行了调整，将光的放射角扩大到了约30度，从而实现了大面积照射。而且，优化在真空腔内的安装位置后，仅用一个设备即可对300mm晶圆实施除静电处理。该公司介绍说，这种使用重氢灯产生的真空紫外线用于从静电卡盘分离晶圆的方式在业内还属首例。
滨松光子将从2012年12月10日开始向日本国内外的半导体制造设备厂商样品供货L12542。另外，该公司还预定在2012年12月5日～7日于幕张MESSE国际会展中心举行的“SEMICON Japan 2012”上，展出此次的新产品。（记者：赤坂麻实，Tech-On！）
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