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尼康推出用于制造中小型显示屏的曝光设备，分辨率达2μm |
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| http://cn.newmaker.com
10/25/2012 10:13:00 AM
日经BP社
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尼康于2012年10约23日宣布，已开始销售用于制造中小尺寸液晶面板和有机EL面板的曝光设备“FX-67S”。曝光波长为g线+h线+i线，适用基板的最大尺寸为1500mm×1850mm。随着智能手机等市场的扩大，预计此类产品的需求将不断增加。据介绍，将该产品与已经上市的“FX-66S”组合使用，可以构成最佳生产线。
为了提高由多个投影镜头构成的多镜头系统的分辨率，新产品采用了新的调整机构，同时还导入了新开发的采用尼康自主超解像技术的照明系统。另外，还配备对测量点进行了优化的新型自动对焦系统。由此将分辨率提高至2μm（L/S），同时还确保了较深的实用焦点深度。
另外，通过增加新的测长干涉仪轴、重新设计位置测量系统，将位置误差控制在了±0.5μm。吞吐量方面，基板尺寸为1300mm×1500mm的情况下，在制造4英寸面板时为2万张/小时，制造7英寸面板时为6900张/小时。（记者：赤坂 麻实，Tech-On！）
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