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苏州海铂晶体采用CHES熔炉实现大口径C轴蓝宝石晶体的量产 |
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| http://cn.newmaker.com
10/16/2012 9:14:00 AM
日经BP社
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 从事LED芯片制造用蓝宝石基板及蓝宝石材料生产的苏州海铂晶体有限公司，开始采用ARC Energy公司开发的“CHES（Controlled Heat Extraction System，控热提取系统）熔炉”量产大口径蓝宝石芯体。苏州海铂晶体是一家中外合资企业，成立于2010年12月，2012年8月开始使用CHES熔炉量产50～200mm（2～8英寸）的蓝宝石芯体、立即可用的晶圆及图案式蓝宝石基板（PSS）晶圆。
CHES溶炉可使蓝宝石结晶直接在C轴生长，材料利用率高。据苏州海铂晶体介绍，以往结晶生长方法的材料利用效率只有35％，而CHES熔炉高达75％。另外，操作也几乎全部为自动化，对操作人员的依赖度较低。据ARC Energy介绍，该公司的CHES溶炉2011年7月累计供货量突破了100台。
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