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日本开发出输出功率达到全球最高水平的绿色半导体激光器
http://cn.newmaker.com 8/9/2012 9:48:00 AM  日经BP社
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半导体激光器, 固体激光器, Er:YAG激光器, CO2激光器, 光纤激光器, ...
索尼和住友电气工业(以下简称住友电工)试制出了具备“全球最高水平光输出功率”(两公司)的绿色半导体激光器。在振荡波长为530nm波段的“纯绿色”波长领域,连续振荡时可输出100mW以上的输出功率。该数值与在相同波长范围振荡的原绿色半导体激光器相比,光输出功率为“2倍以上”(两公司)。

绿色半导体激光器此前一直面向投影仪光源等推进研究开发。因为绿色半导体激光器可扩大影像的色彩表现范围、缩小投影仪的尺寸等。

在投影仪光源中,红色和蓝色半导体激光器已经推出高输出功率产品。而绿色半导体激光器只有振荡波长为520nm左右、在绿色波段中也属于短波长的产品。能直接振荡530nm波段绿色激光的半导体激光器之前的光输出功率比较小,未能实现产品化。因此,此前一直通过使红外激光通过SHG结晶*,或者利用荧光材料转换成蓝色激光的波长来获得绿色激光。

*SHG结晶=可获得入射激光2倍的频率、即一半波长激光的非线性结晶。

如果能直接实现高功率的绿色半导体激光器,无需进行波长转换的话,有助于投影仪降低成本、削减耗电量及实现小型化,为此各企业和研究机构等积极进行了研究开发。

此次开发的530nm波段绿色激光器试制品在连续振荡时的光输出功率为100mW,可用于亮度约为20lm的超小型投影仪。不仅是光输出功率,转换效率、工作温度范围、振荡阈值及寿命等也达到了实用化水平。例如,光输出功率相对于输入功率的比例(WPE)在532nm的激光振荡时为7.5%,“与SHG激光器相当”(索尼)。

阈值电压也只有4.7V。实现了实用化要求的5V以下。工作温度方面,外壳温度为80℃,可进行脉冲振荡等,与用于蓝光光盘光源的蓝紫色半导体激光器产品相当。

寿命也比较长。在55℃的外壳温度下以50mW连续振荡时,估计寿命(达到初期电流值1.3倍的时间)超过了5000小时。各种性能参数均已超过实用水平,“虽然不便透露具体时间,不过打算为量产做准备”(索尼)注1)。

注1) 今后,索尼计划量产绿色半导体激光器,住友电工计划量产用于该激光器的GaN基板。据称住友电工正在考虑是否生产该激光器。

通过改变结晶面实现

此次之所以能试制出实用水平的绿色半导体激光器,是因为利用了被称为GaN结晶的“半极性面”的结晶面(图)。试制品在住友电工制造的GaN基板的半极性面上生成GaN类半导体结晶后制成。活性(发光)层采用InGaN。


利用半极性面
普通的InGaN类半导体激光器利用GaN结晶的c面。而索尼等试制的激光器利用相对于c面倾斜75度的半极性面。即{2021}的面方位(a)。利用可削弱GaN结晶中的电场影响的半极性面提高了效率(b)(图由本刊根据索尼的资料制作)

活性层采用InGaN的普通蓝紫色和蓝色半导体激光器,以GaN结晶的极性面c面为生长面,以其法线方向(c轴)为生长轴层叠GaN类半导体。但利用c面的话,因“压电电场”的影响,很难在蓝色波段的基础上使波长增长到绿色波段。

此次利用的半极性面是指相对c面倾斜75度的面。即利用了{2021}面。从理论上说,利用GaN结晶的半极性面能削弱压电电场的影响。虽然还有比{2021}面更能削弱压电电场的结晶面,但从易于提高结晶品质等理由考虑,选择了{2021}面。

其实住友电工2009年就试制出了采用该面的绿色半导体激光器,并成功实现了531nm的激光脉冲振荡。但在特性方面未能达到实用水平。之后,住友电工与拥有半导体激光器制造经验的索尼携手,对该激光器的构造、电极及结晶生长等整体制造工艺进行了改良,提高了激光器的性能。

关于量产时的课题基板,住友电工已开始样品供货口径最大扩大至2英寸的半极性GaN基板。

LED将实现5倍的光输出

通过改变GaN的结晶面,可以削弱压电电场的影响,提高效率和输出功率,因此不仅是激光器,很多企业和研究机构还开始将其应用到LED的研究开发方面。例如,韩国首尔半导体2012年7月发布的白色LED利用了被称为“无极性面”的、垂直于c面的结晶面。与原产品相比,此举将单位面积的亮度提高到了5倍以上。(记者:根津 祯,《日经电子》)

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